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激光发射器上,气体喷射激光,微型镜头捕捉到,黑暗中,一束纯净的极紫外光线经过真空管道,穿过一层层反射镜,在复杂而精密的仪器中不断的反射。
经过电反应室时,被电场将等离子体转化,它变得更加明亮而纯净。
当光束的尖端进入最后的光刀形成空间,一滴绝对纯水滴落,光束正好“击中”
它!
经过水的折射,极紫外光的波长再度缩小,落在了工作台的空白硅基芯片上。
按照电脑程序,它开始在纳米级的芯片上进行绘图,此时只是测试,并没有按芯片设计雕刻芯片,但其精密度是可以通过微型电子显微镜观测清楚的。
这个过程,其实只是一瞬间的事情!
电子音不断响起:“光源稳定!”
“光源强度合格!”
“光源纯净度合格!”
“雕刻精度,3纳米,误差0.1纳米。”
“第二次测试开启!”
严蕊按捺住心中的激动,再次喊道。
他们要反复经过多次测试,来确认极紫外光刀的稳定性和雕刻精密度。
“第二十次实验,雕刻精度,3纳米,无误差!”
到第二次实验结束时,严蕊已经没有喊下一次了,因为她知道,这柄世界上最顶尖的极紫外光刀,已经真正被制造出来了!
“我们,成功了?”
她喃喃自语着,看向其他人。
其他人也在互相观望着,这一刻,他们还没有说话,但何星舟似乎已经听到了他们猛烈跳动的心跳声!
这是火山爆发前的宁静!
终于,一名八十多岁的老专家情绪爆发了!
他声音颤抖,声泪俱下,说道:“为了这柄极紫外光刀,我们多少同志,从青葱少年,熬到白发苍苍!”
当他说出这句话,周围好几个老专家,还有院士级的大拿,都忍不住眼眶湿润。
只有他们自己知道,为了这科研成果,他们付出了自己的一生!
来自魔都微电子研究所的史诚院士更是拉住何星舟的胳膊,说道:“何总工,我必须要向你说一声谢谢!”
“你知道吗?三年前,我受邀去欧洲参观阿斯麦公司。
当着我们代表团的面,他们的设计师说‘就算给你们图纸,你们东方人也造不出光刻机’!”
“那个时候,我们无力反驳!
因为我们确实没有先进的光刻机,说什么都非常苍白无力!”
“今天,我们造出来了!
这世界上精密的极紫外光刀,将铸就世界上最先进的光刻机!”
“我们造出来了!”
他最后的声音,几乎是在呐喊!
“我们造出来了!”
所有人都喊起来,有人大笑,有人大哭,情绪的火山终于爆发!
何星舟也被这种情绪感染,和众人一起欢呼庆祝!
“等极紫外线光刀与光刻机其他设备装配在一起,我们就能正式开始制造3纳米制程的高端芯片!”
何星舟大声道。
...
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