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正是这5500系列的推出,标志着ASML在欧美厂商的支持下开始走向成熟。
不同于ASML成立之初推出坑爹的油压机械式PAS2000,1986年,ASML公司采用新的对中技术推出PAS2500步进式光刻机,开始在市场上建立起一定的名气,同年与镜片制造商CarlZeiss建立合作伙伴关系。
有了PAS2500型光刻机带来的市场和利润,ASML励精图治,在今年也就是十天前正式推出了PAS5500型光刻机。
只是,PAS5500为ASML赚足了眼球和大量订单的同时,也让尼康为首的一帮曰本厂商警惕,警惕这个之前一直未曾瞧在眼里的光刻机小弟弟。
看到半导体厂商开始份份接触ASML,以及心急的已经下了订单,尼康和佳能也坐不住了,开始联系半导体制造大厂。
只是除了曰本的厂商积极赴约之外,其他的欧美厂商只是客气答应,但就是不见人影。
不过这也可以理解的。
半导体设备的更新换代,推动半导体工艺、半导体产品及整个电子装备的更新。
因此,从本质上讲,半导体设备不仅支撑集成电路产业的发展,同时也支撑整个电子信息产业的发展。
半导体设备包括前道设备、后道设备、制版设备、材料制备设备等,其中最为关键的是前道微细加工设备(包括对半导体芯片进行曝光、刻蚀、掺杂、薄膜生长等工艺加工的设备,以及测量设备)。
而微细加工技术的核心,是微细光刻技术,光学光刻设备的进步。
自20世纪80年代后期,光学光刻技术的重点由Q线转向i线和准分子。
到90年代初i线光刻开始应用。
。
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在ASML推出PAS-5500之后,后续日本厂商陆续推出了自己第一款i线步进投影光刻机,比如曰本NikonNSR1775iTA型,CanonFPA-200i型,日立LD-5015iCW型,美国Vstrastep2020i和2244i型等。
这些机型均可实现0.5μm分辨率,满足16MDRAM芯片,光刻6-8英寸的片子。
简而言之,就是PAS开了一个技术先河,当起了这个时候光刻机发展的领头羊。
不是尼康的技术不先进,而是ASML打破了以往尼康和佳能独霸的局面,这是除曰本之外的各大半导体生产厂商所喜闻乐见的。
正因为此,看其他各大厂商对于自己的邀请无动于衷,尼康不由恼了,于是邀请曰本的其他半导体产业链上的曰本厂家,共商半导体设备、材料供应大会。
紧接着第二天,就流出了半导体制造耗材供应紧张的消息。
而香积电也接到了以往丸红株式会社1.2微米光刻对应光刻胶供应可能断供或者推迟的通知。
当然某些事情,尤其是刚刚和美国签署了《日美半导体第二次协议》的曰本半导体界。
这些曰本半导体产业链上巨头不敢明目张胆的威胁,但是私底下散步一点小道消息,也是可以让一些人再次审时度势的。
于是,尼康在前天正式召开通知各大厂商,将在十月下旬,正式推出自己尼康的第一款i线步进投影光刻机NSR1775iTA,邀请欧美各大厂商参观采购。
甚至之前一直被ASML占据优势的苔积电、联华电等都在邀请列,向ASML和选择了ASML光刻机的厂商示威意图很是明显。
之前,陈渡进来就是个余子贤通知金智江打探到的最新消息,以及一份有关曰本半导体界报纸的电报。
简而言之,这一次,香积电包括苔积电等之前选择了ASML光刻机的厂商,这一次可能要因为尼康对ASML的示威当一次“池鱼”
了。
因为PAS5500,ASML城门可能要失火,只是像香积电这样的厂商却提前连带遭了殃。
所以,在刚刚李斯特说ASML对于半导体材料供应也没有办法的时候,余子贤玩味的盯着他看了好一会儿,甚至带上了一丝丝揶揄的味道。
余子贤知道了事情的前因后果之后,就知道现在这个时期不是自己能够做参与其中的了。
但是ASML可不一样,哪怕是他发动各种关系,也要完成这一次因为他引发的ASML阵营厂家半导体材料供应的危机,哪怕是请出飞利浦以及未来的美国爹,也要和平处理好这件事情……
这事关ASML脸面和腰杆……退无可退。
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